Процесът на разпрашаване изпарява изходен материал, наречен мишена, за да отложи тънък, високоефективен филм върху продукти като полупроводници, стъкло и дисплеи. Съставът на мишената директно определя свойствата на покритието, което прави избора на материал критичен.
Използва се широка гама от метали, всеки от които е избран заради специфични функционални предимства:
Основни метали за електроника и междинни слоеве
Медта с висока чистота е ценена заради изключителната си електрическа проводимост. Мишените от 99,9995% чиста мед са от съществено значение за създаването на микроскопични окабелявания (взаимосвързвания) вътре в усъвършенстваните микрочипове, където минималното електрическо съпротивление е от първостепенно значение за скоростта и ефективността.
Високочистият никел служи като универсален работен кон. Използва се предимно като отличен адхезионен слой и надеждна дифузионна бариера, предотвратявайки смесването на различни материали и осигурявайки структурната цялост и дълготрайността на многослойните устройства.
Огнеупорни метали като волфрам (W) и молибден (Mo) са ценени заради високата си топлоустойчивост и стабилност, често използвани като здрави дифузионни бариери и за контакти в тежки среди.
Специализирани функционални метали
Високочистото сребро предлага най-високата електрическа и топлопроводимост от всички метали. Това го прави идеално за нанасяне на високопроводими, прозрачни електроди в сензорни екрани и брилянтно отразяващи, нискоемисионни покрития върху енергоспестяващи прозорци.
Благородни метали като злато (Au) и платина (Pt) се използват за високонадеждни, устойчиви на корозия електрически контакти и в специализирани сензори.
Преходните метали като титан (Ti) и тантал (Ta) са от решаващо значение за отличните си адхезионни и бариерни свойства, като често образуват основния слой върху субстрата, преди да се нанесат други материали.
Въпреки че този разнообразен набор от материали позволява съвременните технологии, производителността на медта за проводимост, никела за надеждност и среброто за превъзходна отражателна способност остава несравнима в съответните им приложения. Постоянното качество на тези високочисти метали е основата на високоефективните тънкослойни покрития.
Време на публикуване: 24 ноември 2025 г.
